產品介紹

表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M

LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎上，進而分析Plasma效果，是一種基于界面化學分析系統的表面清潔度測試系統。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個部分組成。根據樣品臺移動方式不同，我們將儀器主機分為自動（LCD1000A）、手動（LCD1000M）兩種。樣品臺尺寸及其控制行程可根據客戶要求定制。我們?yōu)閺V大客戶提供性能，價格合理的儀器以及化的產品，期盼為客戶的研發(fā)與品質控制提供的服務。

一、LCD系列表面清潔分析儀的產品優(yōu)勢：
1、人性化的設計，操作簡單；
→選購自動注射泵，可完成自動進液控制，精度可達0.02uL
→自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測試，軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算角度值
2、全區(qū)域測試，可支持各種規(guī)格面板
→480*480（LCD-400S）
→750*750（LCD-700S）
→900*700（LCD900S）
→1400*1400（FPD）
3、數據庫管理技術
→歷史數據可查詢
→可導出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式，供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多項技術
→多達6種以上接觸角計算辦法
→多達12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準技術
→支持粘附功計算、WBA分析等

二、LCD系列表面清潔分析儀的功能實現：
1、測試前：
（1）通過調整進樣器前后、左右、上下移動（XYZ）及鏡頭俯仰角度和升降（Z向），實現調整焦距的目的。
（2）通過控制導軌前后、左右移動（XY），將注射泵移動至角落后，以方便裝樣。
2、測試過程中：
（1）通過導軌前后、左右方向（XY）的移動控制，實現樣品上不同點的水滴角度值的測試；
（2）通過移動進樣器升降移動（Z向），完成液滴移液過程（將水液滴轉移到液晶屏上）；
（3）通過進樣器注出液滴，進行角度分析，精度可達0.02uL。
3、測試實現方法：
（1）通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后，分析敏感點，計算得出角度值；
（2）計算辦法：θ/2法（WH法）或圓擬合法；
（3）軟件對鏡頭的俯視角度進行適當的修正，以期實現更的測量。

三、技術參數：軟件分析基于CAST2.0分析系統